24.01.2001
Союз нескольких крупнейших представителей электронной промышленности и науки, именующий себя Extreme Ultra Violet coalition (EUV), продемонстрировал инструменты для массового производства микросхем следующего поколения.
Прессе были показаны прототипы промышленных устройств, реализующих литографический процесс для производства микропроцессоров, способных работать на частотах до 10 ГГц, с плотностью упаковки элементов в 10 раз большей, нежели в существующих сегодня массовых продуктах. В основу нового инструментария положена фотолитография с использованием «жёсткого ультрафиолета» (что отражено в названии коалиции) – коротковолновой части ультрафиолетового диапазона спектра, дающего возможность рисовать на фоточувствительных подложках сверхмелкие детали. В настоящее время технология пребывает в ранней стадии своего развития, и ожидать скорого пришествия десятков гигагерц в персоналки не приходится. Группа, включающая в себя компании AMD, Intel, Micron Technologies, а со стороны науки – Sandia National Labs и Lawrence Livermore National Labs – планирует провести бета-тестирование производственного оборудования лишь к 2004 году, а в 2005 году довести его до стадии коммерческой эксплуатации.

Источник: Журнал "Компьютерра"